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选购匀胶机旋涂仪需要考虑哪些因素呢?
点击次数:36 发布时间:2019-07-26
   匀胶机旋涂仪采用高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,具有高转速、高精度、旋转稳定、涂层(厚度)均匀、操作简单快速等特点,适用于半导体、硅片、导电玻璃等材料表面的涂覆工艺。匀胶机旋涂仪可以对不同尺寸(圆片及特殊尺寸)的基片进行匀胶,设备体积小,占用空间少,PLC全自动控制系统保证设备长时间稳定运行,同时触摸屏软件为用户提供友好的操作界面。
  匀胶机旋涂仪有很多种称谓,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,即在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
  针对目前匀胶机旋涂仪市场品牌众多,良莠不齐现象,笔者结合自己多年从事匀胶机旋涂仪技术服务的实际经验。帮助广大用户提高辨别能力,为用户提供了直观明确的选择标准。
  从其原理来说,我们可以看出选购匀胶机旋涂仪需要注意的几个细节“
  1、 旋转速度:转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机旋涂仪只能提供转速范围,并不能**标定实时的转速。进口的匀胶机旋涂仪虽然大部分能标定转速,但是大部分转速精度没有国际标准认定。建议购买转速控制方面有国际认定标准的,比如:美国NIST标准等。
  2、 真空吸附系统的构造
  真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。用过国产匀胶机旋涂仪的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机旋涂仪做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。
  3、 材质的选择
  对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机旋涂仪采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。
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